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第259章 p型n型共掺杂（第4页）

陈舟本来还奇怪彭飞居然一下午没过来找他，打电话时才明白过来。

彭飞这会正忙着金刚石薄膜成品的收集呢。

采用改进工艺制备的金刚石薄膜已经完成。

听彭飞的意思，陈舟估计他今晚又会熬夜加班。

而且还不知他一个人……

在外面简单的吃了晚饭，陈舟和沈靖就回到了酒店。

沈靖本打算像先前一样跟到陈舟房间的，结果被陈舟拦了下来。

“晚上好好休息，明天有你忙的。”丢下这么一句话，陈舟就关门进了房间。

门外，沈靖看着被关上的房门，嘀咕道：“这该不会是闭关吧？”

房间里，陈舟迅速打开电脑，掏出草稿纸和错题集。

“就在今晚了……”

只扫了一眼，下午的思路便接续上了。

陈舟再次沉浸于n型掺杂和共掺杂的问题研究中。

原本特意准备的一沓崭新的a4草稿纸，随着时间的推移，渐渐变薄。

而他一直所心疼的笔芯，也在以一种超乎常理的速度，不断流逝在草稿纸上。

错题集上的内容，也在不断的增减着。

“不管氮源和磷源的采用的是什么，目的就只有一个……”

“不管装置内的系统是什么样的，它都始终只为了制备出掺杂的金刚石薄膜……”

陈舟的思路变得清晰起来，方向也逐渐明确。

在四十三所的共掺杂实验中，装置内并没有采用多余的系统作为辅助。

但其实，如果有其它系统辅助的话，可能结果会更好也说不定。

这是国外的一篇文献给陈舟的启发。

把写满的草稿纸拿到一边，换上一张新的草稿纸，再把笔芯换上满水的。

陈舟在草稿纸上写到：

【在nimnco—c系统中，采用p2n5、羰基离子粉末和磷粉末在高温高压下混合，提供氮源和磷源，以此方法掺杂金刚石……】

写完这句话，陈舟突然笑了出来。

“这么简单的道理，为什么我还想了这么久？”

相比单纯的氮掺杂金刚石，sp3-ch3形式的h原子更容易掺入磷—氮共掺的金刚石晶格中，提高共掺杂金刚石的质量。

因为在磷—氮共掺系统中，磷原子掺入后产生许多缺陷，形成了碳原子悬挂键，有助于氢原子掺入金刚石晶格。

而氢原子可以刻蚀sp2相，有利于高质量金刚石薄膜的沉积。

“系统和氮源、磷源确定后，那共掺杂实验剩下的问题，就好解决了……”

陈舟说着，把放在一旁的几张草稿纸拿了过来。

这是在研究氮源和磷源时，针对不同情况，陈舟所做的参数研究。

这会，正好拿来验证。

一般的衬底温度、掺杂浓度、工作压力等等等等，通过错题集的试错，很快就能得到一个大致区间。

再经过分析模型的验证，再回转到错题集进一步试错。

那就成了！

把共掺杂的问题一解决，那n型掺杂的问题，也就是铺在纸面上的答案了。

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