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第二百七十一章 成功了光刻工厂实现了274（第2页）

第一期相当于测试，等测试通过就可以扩建二期、三期甚至是第四期的光刻工厂。

岂不是能刻3纳米芯片？

“确实是我们操之过急了。”

“我马上操作。”

要是真能造3纳米芯片，那可不是小小的科技震撼，而是向整个半导体芯片行业扔了个蘑菇弹，要颠覆整个行业的事情了。

林天喃喃自语。

“趁着天没亮，我们尽快测试光束的可行性吧。”陈星提醒一句。

“我们没有单独完整的SOC上帝芯片光掩膜版，只能用两块阴阳掩膜版堆叠在一块形成完整图案，这又会出现个问题。”

林天点了点头回应道。

存放在特定区域的半导体硅片被静电吸盘吸起，运送到清洗区域，洗掉附着在半导体硅片表面的灰尘和杂质。

自动光刻。

像似给陈星几人解释，又像似说给自己听。

当然了。

前提是可以能光刻成功。

“这句话在理。”

自动清洗。

两块光掩膜版已经重叠，他们在特定

这也是为什么第一期的光刻工厂只有5000平的原因，因为建造太大也没用，像静电吸盘和各类自动化运输的设备，都是需要定制化购买的，关键有些设备国内还没有，比如静电吸盘设备。

在半导体领域，可不仅仅光刻机和紫外光有纳米等级，光刻胶同样有纳米等级区分。

又经过了十分钟的参数调试，排除外故障情况，林天输入了确定工作的指令。

自动涂胶。

他们现在可是关了全深城的电力供应，哪怕是凌晨4点钟，但依然会对城市造成影响。

在清洗完成以后，半导体硅片会通过特殊运输通道，运往下一个步骤进行烘烤，待半导体硅片彻底干燥将继续运往下一个步骤，涂抹光刻胶。

“为了解决这个问题，我加大了粒子加速器的功率，让电子运动的速度再次增加。”

“理论上来说，运行功率的加大，会同步放大电子运动的速度，电子在环形存储器的速度越快，辐射出的极紫外光能量就越强，但我并不能确定这个数值是不是正确的，只能说理论可行。”

光刻工厂没有人测试过，谁也不知道行不行。

现在又因为光掩膜版限制，林天只能加大功率，这给测试又增添了不小的难度。

“试试就知道了。”

陈星默默举起手机拍摄。

虽然他们在操控室，但面前的屏幕有显示洁净室的

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