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“林,怎么了?”
道森·艾丁森忽然出声问道。
他看见林晓望着光刻机的目光中,似乎充满了震撼?
他不由感到有意思,他们的光刻机,居然能让这样一位顶级物理学家都露出这种表情?
听到了道森·艾丁森的声音,林晓回过了神。
反应过来他的问题,林晓便一副感慨地样子说道:“不愧是光刻机,看起来真是一个完美的产品啊,实在是让人惊讶。”
道森·艾丁森笑道:“要是别人知道了能够和爱因斯坦比较的物理学家,居然因为这个东西而感到惊讶,恐怕会更加惊讶吧。”
林晓笑了笑,说道:“爱因斯坦要是看到了光刻机,相信也会惊讶,这可是世界上最顶级的科技产物。”
“说得倒也是,毕竟这是人类智慧的结晶。”道森·艾丁森道:“几十年来的科学家们前赴后继,才让人们在纳米领域上实现了崛起。”
想一想,一个硅原子的半径也就大概0.111nm左右,等于说,一纳米也就只有大概4个硅原子的大小,而现在的光刻机已经能够在硅晶圆上以5nm的制程进行光刻了,由此可见,光刻机的精度有多么高。
于是林晓赞同地点了点头。
“说的不错。”
所以它现在是我的了。
林晓刚才的震撼,显然不是为眼前的光刻机而震撼,而是为他脑海中的那个图像而震撼着。
他的脑海中,已经出现了一台完整的光刻机。
就像是一个三维建模图一样。
而且他可以知道里面的每一个零件,以及结构构造。
就比如光刻机最关键的部分,镜头。
那是一片人类当前所能做到的最光滑的镜片,50pm-rms级别的精度,等于说从均方根计算方法来说,它上面连一个硅原子半径的一半都不到!
如此平整,足以说明其光滑程度,可能只是手轻轻在上面一摸,它就再也没有这么光滑了,因为轻轻的一按,手指上面的原子电子产生的电磁力,就足以破坏其平衡了,所以它自诞生之后,就需要处于最好的保护状态中,以避免其被损坏或遭到磨损。
哪怕是此时正在建造的詹姆斯·韦伯太空望远镜镜片的精度也就20nm而已,这种精度的镜片,也就是图一乐。
当然,考虑到euv极紫外光的波长是13.5nm后,这样的精度,也算是比较合适了。
而这,就是出自于德国蔡司公司的镜片,每年只工作十个月,工作完就休假,阿斯麦尔的产量低,也和这家公司提供的镜片太少有关系。
除了镜片之外,林晓也能够看到里面其他的所有零部件的组成结构,这就相当于只要有原材料,他就可以重新组装出一台光刻机出来。
当然,这对于林晓来说还不算完。
此时的他,不仅能够看到整个光刻机的结构,他甚至还可以知道这个镜片究竟是怎么制造出来。
只要选定这个镜片作为对象,他就可以知道这个镜片是经过什么流程才能够打磨到这种程度的,首先自然是经过各种机械打磨,然后是化学品处理,继续不断地打磨。
此外,还有这个镜片的材料,就是那种热膨胀系数几乎为零的材料,因为光刻的时候光显然是会导致镜片温度提高的,而一旦提高了哪怕万分之一,都可能对最终的光刻精度造成影响。
当然,除了镜片之外,还有光源、双工作台等光刻机的关键结构,而这些,林晓都将知道其生产原理。
而除了光刻机之外,由于扫描的这个光刻机是正在进行出厂测试的光刻机,里面还有着各种光刻过程中需要的材料,比如硅晶圆、euv光刻胶、光掩膜版。
而此时此刻,这些材料的生产过程,他也都知道了。
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